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发明名称 WAFER CLEANER AND CLEANING METHOD THEREFOR
摘要
申请公布号 JPH07245283(A) 申请公布日期 1995.09.19
申请号 JP19940033978 申请日期 1994.03.04
申请人 FUJITSU LTD 发明人 YOSHIDA TAKESHI;MATSUYAMA RYOJI
分类号 B08B3/04;H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 B08B3/04
代理机构 代理人
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