| 发明名称 |
APPARATUS FOR PRODUCING COMPOUND SEMICONDUCTOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH07242487(A) |
申请公布日期 |
1995.09.19 |
| 申请号 |
JP19940031399 |
申请日期 |
1994.03.01 |
| 申请人 |
HITACHI CABLE LTD |
发明人 |
NAKAMORI SHOJI;YABUKI SHINJI |
| 分类号 |
C30B11/00;C30B29/40;H01L21/208;(IPC1-7):C30B11/00 |
主分类号 |
C30B11/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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