| 发明名称 |
WATER SOLUBLE PHOTOSENSITIVE RESIN COMPOSITION AND PATTERN FORMING METHOD USING THE SAME |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH07244374(A) |
申请公布日期 |
1995.09.19 |
| 申请号 |
JP19940060228 |
申请日期 |
1994.03.04 |
| 申请人 |
TOKYO OHKA KOGYO CO LTD |
发明人 |
MIYAZAWA SHOZO;TODA SHOZO |
| 分类号 |
G03F7/012;G03F7/032;H01J9/14;(IPC1-7):G03F7/012 |
主分类号 |
G03F7/012 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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