| 发明名称 |
INSTRUMENT FOR MEASURING PLASMA EXCITED BY HIGH-FREQUENCY |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0692926(A4) |
申请公布日期 |
1995.09.18 |
| 申请号 |
EP19940904322 |
申请日期 |
1994.01.14 |
| 申请人 |
OHMI, TADAHIRO |
发明人 |
OHMI, TADAHIRO;HIRAYAMA, MASAKI |
| 分类号 |
H05H1/00;(IPC1-7):H05H1/00 |
主分类号 |
H05H1/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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