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ESTE INVENTO SE DIRIGE A LA FABRICACION DE DISPOSITIVOS SEMICONDUCTORES, ESPECIALMENTE LOS QUE COMPRENDEN MATERIALES SEMICONDUCTORES DE COMPUESTOS III-V Y II-VI, E INCLUYE EL RECOCIDO, ESPECIALMENTE EL RECOCIDO TERMICO RAPIDO (RTA), DE PLAQUITAS SEMICONDUCTORAS, ESPECIALMENTE LAS APLICADAS CON IMPURIFICANTE. EL INVENTO TRATA TAMBIEN DE UNA APLICACION DE CAJA NEGRA UTILIZADA EN COMBINACION CON EL RTA. EL PROCESO COMPRENDE EL ENCIERRE DE UNA PLAQUITA (1) QUE SE VA A RECOCER, DENTRO DE UNA "CAJA NEGRA" QUE CONTIENE COMPONENTES (10, 11, 12) DE UN MATERIAL DE CUERPO NEGRO, Y EL SOMETIMIENTO DE LA CAJA NEGRA CON LA PLAQUITA EN SU INTERIOR A UN RTA. EN UNA REALIZACION PREFERENTE, EL RTA COMPRENDE (A) UNA FASE DE PRE-RECOCIDO QUE INCLUYE EL CALENTAMIENTO A UNA TEMPERATURA Y DURANTE UN PERIODO DE TIEMPO SUFICIENTE PARA PRECALENTAR LA PLAQUITA PARA REDUCIR EL CHOQUE TERMICO DEBIDO A UNA FASE PRINCIPAL DE RECOCIDO, (B) LA FASE PRINCIPAL DE RECOCIDO, QUE SE REALIZA A UNA TEMPERATURA Y DURANTE UN PERIODO DE TIEMPO SUFICIENTE PARA ELIMINAR EL DAÑO OCASIONADO A DICHA SUPERFICIE POR LA APLICACION DEL IMPURIFICANTE Y PARA ACTIVAR EL IMPURIFICANTE APLICADO, Y (C) UNA FASE DE POSRECOCIDO REALIZADA A UNA TEMPERATURA Y DURANTE UN PERIODO DE TIEMPO SUFICIENTE PARA ELIMINAR LAS TENSIONES QUE PUEDEN DERIVARSE DE LA FASE DE RECOCIDO PRINCIPAL. EL USO COMBINADOS DE RTA Y DE LA CAJA NEGRA LLEVA A QUE LAS PLAQUITAS SE LIBEREN PRACTICAMENTE DE LINEAS DE FALLAS Y QUEDEN CON ALTAS MOVILIDADES REPRODUCIBLES Y ACTIVACION UNIFORME.
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