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发明名称 VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUR BEHANDLUNG VON MATERIALIEN.
摘要
申请公布号 AT127651(T) 申请公布日期 1995.09.15
申请号 AT19900908390T 申请日期 1990.05.04
申请人 THE REGENTS OF THE UNIVERSITY OF CALIFORNIA 发明人 JOHN, F., ASMUS;RALPH, H., LOVBERG
分类号 B08B7/00;G03F7/20;H01L21/00;H01L21/268;H05H1/04;H05H1/52;(IPC1-7):H05H1/24 主分类号 B08B7/00
代理机构 代理人
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