| 摘要 |
Un détecteur de pression comprend un élément sensible à la pression (3) constitué d'un substrat en semi-conducteur ayant au moins quatre résistances de jauges et sortant un signal en réponse à une pression. Un élément de transmission de la pression (2) est prévu sur la surface comportant les résistances de jauges de l'élément sensible à la pression (3) afin de transmettre la pression à cet élément. Si l'on prend la face cristalline (110) comme orientation de la face de l'élément sensible à la pression (3), un circuit en pont est construit en disposant une paire de résistances de jauges dans la direction de l'axe du cristal, en disposant une autre paire de résistances de jauges dans la direction de l'axe du cristal et en les connectant ensemble. Le circuit du pont est situé dans une surface pressurisée que comprime l'élément de transmission de la pression (2). En outre des résistances de compensation de la température sont disposées dans la direction de l'axe du cristal de manière à être également situées dans la zone de la surface pressurisée. |
