| 发明名称 |
SANFTAETZ-EINHEIT FUER MODULARE BEARBEITUNGSANLAGEN UND ECR-PLASMAERZEUGER FUER EINE SOLCHE EINHEIT. |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AT127615(T) |
申请公布日期 |
1995.09.15 |
| 申请号 |
AT19920904619T |
申请日期 |
1992.01.21 |
| 申请人 |
MATERIALS RESEARCH CORPORATION |
发明人 |
GHANBARI, EBRAHIM |
| 分类号 |
H01J37/32;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065;H05H1/18;(IPC1-7):H01J37/32;H05H1/46 |
主分类号 |
H01J37/32 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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