Herstellung von permeabelen polymeren Filmen oder Schichten durch Auslaugung.,申请号DE19873751127T-传众专利搜索

发明名称	Herstellung von permeabelen polymeren Filmen oder Schichten durch Auslaugung.
摘要
申请公布号	DE3751127(T2)	申请公布日期	1995.09.14
申请号	DE19873751127T	申请日期	1987.04.28
申请人	INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP., ARMONK, N.Y., US	发明人	GRECO, STEPHEN EDWARD, LAGRANGEVILLE NY 12540, US;LYONS, CHRISTOPHER FRANCIS, LAGRANGEVILLE NY 12540, US;YANG, JER-MING, YORKTOWN HEIGHTS NY 10598, US
分类号	H01L21/30;C08J9/26;G03C1/00;G03F7/004;G03F7/26;G03F7/30;G03F7/38;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/26	主分类号	H01L21/30
代理机构		代理人
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