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发明名称 Ionen-Implantationsgerät.
摘要
申请公布号 DE69021435(D1) 申请公布日期 1995.09.14
申请号 DE19906021435 申请日期 1990.05.15
申请人 NISSIN ELECTRIC CO., LTD., KYOTO, JP 发明人 NOGAMI, MAMORU, C/O NISSIN ELECTRIC COMP., KYOTO-SHI, KYOTO, JP;NISHIKAWA, KAZUHIRO, C/O NISSIN ELECTRIC COMP., KYOTO-SHI, KYOTO, JP
分类号 H01J37/04;H01J37/317;H01L21/265;H01L21/677;H01L21/68;(IPC1-7):H01J37/317;H01J37/147;G01T1/29 主分类号 H01J37/04
代理机构 代理人
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