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发明名称
Struktur und Prozess zur Herstellung einer Speicherzelle mit komplementären, senkrechten Transistoren.
摘要
申请公布号
DE68923759(D1)
申请公布日期
1995.09.14
申请号
DE1989623759
申请日期
1989.10.10
申请人
INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP., ARMONK, N.Y., US
发明人
JAMBOTKAR, CHAKRAPANI GAJANAN, HOPEWELL JUNCTION, NY 12533, US
分类号
H01L29/73;H01L21/331;H01L27/06;H01L27/082;H01L27/10;H01L27/102;H01L29/205;H01L29/737;(IPC1-7):H01L27/06
主分类号
H01L29/73
代理机构
代理人
主权项
地址
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