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发明名称 GALLIUM PHOSPHIDE SINGLE CRYSTAL OF LOW DEFECT DENSITY AND PRODUCTION THEREOF
摘要
申请公布号 JPS5457498(A) 申请公布日期 1979.05.09
申请号 JP19770124839 申请日期 1977.10.17
申请人 SUMITOMO ELECTRIC INDUSTRIES;NIPPON DENSHI KOGYO SHINKO 发明人 SUZUKI TAKASHI;AKAI SHINICHI;MORI HIDEKI;AOYANAGI KATSUNOSUKE;SHIMODA TAKASHI;MATSUMOTO KAZUHISA;SASAKI MASAMI
分类号 C30B15/04;C30B15/00;C30B27/02;C30B29/44;H01L21/18;H01L21/208 主分类号 C30B15/04
代理机构 代理人
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