发明名称 Ion implanter scanning mechanism.
摘要
申请公布号 EP0431757(B1) 申请公布日期 1995.09.13
申请号 EP19900312160 申请日期 1990.11.07
申请人 VARIAN ASSOCIATES, INC. 发明人 BERRIAN, DONALD W.;KAIM, ROBERT E.;VANDERPOT, JOHN W.
分类号 C23C14/48;H01J37/147;H01J37/317;H01L21/265;(IPC1-7):H01J37/317 主分类号 C23C14/48
代理机构 代理人
主权项
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