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经营范围
发明名称
Ion implanter scanning mechanism.
摘要
申请公布号
EP0431757(B1)
申请公布日期
1995.09.13
申请号
EP19900312160
申请日期
1990.11.07
申请人
VARIAN ASSOCIATES, INC.
发明人
BERRIAN, DONALD W.;KAIM, ROBERT E.;VANDERPOT, JOHN W.
分类号
C23C14/48;H01J37/147;H01J37/317;H01L21/265;(IPC1-7):H01J37/317
主分类号
C23C14/48
代理机构
代理人
主权项
地址
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