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发明名称
Radiation-sensitive sulfonic acid esters and their use.
摘要
申请公布号
EP0519298(B1)
申请公布日期
1995.09.13
申请号
EP19920109652
申请日期
1992.06.09
申请人
HOECHST AKTIENGESELLSCHAFT
发明人
PAWLOWSKI, GEORG, DR.;ROESCHERT, HORST, DR.;SPIESS, WALTER, DR.;PRZYBILLA, KLAUS-JUERGEN, DR.
分类号
G03F7/004;C07D251/24;C08L61/06;C08L61/28;C09D161/06;G03F7/00;G03F7/029;G03F7/038;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/038
主分类号
G03F7/004
代理机构
代理人
主权项
地址
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