发明名称 An apparatus having a vacuum chamber.
摘要
申请公布号 EP0463392(B1) 申请公布日期 1995.09.13
申请号 EP19910108724 申请日期 1991.05.28
申请人 SHIBAURA ENGINEERING WORKS CO., LTD. 发明人 KINOKIRI, KYOJI;UBUKATA, HISASHI
分类号 B01J3/02;C23C14/00;C23C14/56;G11B7/26;H01L21/677;(IPC1-7):C23C14/56;C23C14/34;B01L1/02 主分类号 B01J3/02
代理机构 代理人
主权项
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