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发明名称 Dry cleaning of semiconductor processing chambers.
摘要
申请公布号 EP0638660(A3) 申请公布日期 1995.09.13
申请号 EP19940304196 申请日期 1994.06.10
申请人 APPLIED MATERIALS, INC. 发明人 YE, YAN;RHOADES, CHARLES STEVEN;YIN, GERALD, Z.
分类号 C23C14/00;B08B7/00;C23C16/44;H01L21/00;H01L21/302;H01L21/304;H01L21/306;H01L21/3065;(IPC1-7):C23C16/44;C23G5/00 主分类号 C23C14/00
代理机构 代理人
主权项
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