发明名称
摘要
申请公布号 JPH0740297(Y2) 申请公布日期 1995.09.13
申请号 JP19890080149U 申请日期 1989.07.10
申请人 发明人
分类号 C13F3/02;C23C14/50;H01J37/317;H01L21/027;H01L21/265;H01L21/30;(IPC1-7):H01J37/317 主分类号 C13F3/02
代理机构 代理人
主权项
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