发明名称 FABRICATION OF MICRODEVICE
摘要
申请公布号 JPH07240484(A) 申请公布日期 1995.09.12
申请号 JP19940054972 申请日期 1994.02.28
申请人 TOKIN CORP 发明人 ONO TOSHIAKI
分类号 H01L23/28;H01L23/12;H01L23/48;H01L23/50;(IPC1-7):H01L23/12 主分类号 H01L23/28
代理机构 代理人
主权项
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