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发明名称 PROTECTIVE FILM ETCHING METHOD OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH07240399(A) 申请公布日期 1995.09.12
申请号 JP19940054945 申请日期 1994.02.28
申请人 MITSUMI ELECTRIC CO LTD 发明人 TSUNODA MITSUMASA
分类号 H01L21/306;H01L21/308;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
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