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发明名称 ELECTRON MICROSCOPE
摘要
申请公布号 JPH07240166(A) 申请公布日期 1995.09.12
申请号 JP19940027674 申请日期 1994.02.25
申请人 HITACHI LTD 发明人 YODA HARUO;KAGEYAMA KASHIO
分类号 H01J37/22;(IPC1-7):H01J37/22 主分类号 H01J37/22
代理机构 代理人
主权项
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