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发明名称 THIN-FILM STRUCTURE
摘要
申请公布号 JPH07240570(A) 申请公布日期 1995.09.12
申请号 JP19940029533 申请日期 1994.02.28
申请人 MITSUBISHI HEAVY IND LTD 发明人 OGURI KAZUYUKI;ISHIDA NAOKI
分类号 B32B15/04;C23C28/00;H05K1/05;(IPC1-7):H05K1/05 主分类号 B32B15/04
代理机构 代理人
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