| 发明名称 |
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH07240395(A) |
申请公布日期 |
1995.09.12 |
| 申请号 |
JP19940028628 |
申请日期 |
1994.02.28 |
| 申请人 |
MATSUSHITA ELECTRIC WORKS LTD |
发明人 |
TOKUDA JUN |
| 分类号 |
G01L9/04;G01D5/16;G01L9/00;H01L21/302;H01L21/306;H01L29/84;(IPC1-7):H01L21/306 |
主分类号 |
G01L9/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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