PROJECTION ALIGNER,申请号JP19940032224-传众专利搜索

发明名称	PROJECTION ALIGNER
摘要
申请公布号	JPH07240367(A)	申请公布日期	1995.09.12
申请号	JP19940032224	申请日期	1994.03.02
申请人	NIKON CORP	发明人	IRIE NOBUYUKI;UMAGOME NOBUTAKA
分类号	G03F7/20;G03B27/32;G03F9/00;H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027	主分类号	G03F7/20
代理机构		代理人
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