| 发明名称 |
FORMING METHOD OF SEMICONDUCTOR THIN FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH07240383(A) |
申请公布日期 |
1995.09.12 |
| 申请号 |
JP19940055172 |
申请日期 |
1994.02.28 |
| 申请人 |
SONY CORP |
发明人 |
KIJIMA SATORU;KAWASUMI TAKAYUKI;ASANO TAKEHARU;TODA ATSUSHI;FUNATO KENJI |
| 分类号 |
H01L21/205;H01L21/02;H01L21/203;H01S3/23;H01S5/00;(IPC1-7):H01L21/205;H01S3/18 |
主分类号 |
H01L21/205 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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