发明名称 |
Use of vanadium oxide in microbolometer sensors |
摘要 |
In a microbolometer infrared radiation sensor, a detector material (VO2) having a high thermal coefficient of resistance to increase the sensitivity of the apparatus.
|
申请公布号 |
US5450053(A) |
申请公布日期 |
1995.09.12 |
申请号 |
US19930085243 |
申请日期 |
1993.06.29 |
申请人 |
HONEYWELL INC. |
发明人 |
WOOD, R. ANDREW |
分类号 |
G01J5/20;H01L27/146;H01Q1/38;H01Q5/00;H01Q9/06;H01Q9/16;H01Q15/02;H01Q19/06;H01Q21/06;(IPC1-7):H01L31/08;H01C7/00;G02B26/10 |
主分类号 |
G01J5/20 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|