发明名称 Use of vanadium oxide in microbolometer sensors
摘要 In a microbolometer infrared radiation sensor, a detector material (VO2) having a high thermal coefficient of resistance to increase the sensitivity of the apparatus.
申请公布号 US5450053(A) 申请公布日期 1995.09.12
申请号 US19930085243 申请日期 1993.06.29
申请人 HONEYWELL INC. 发明人 WOOD, R. ANDREW
分类号 G01J5/20;H01L27/146;H01Q1/38;H01Q5/00;H01Q9/06;H01Q9/16;H01Q15/02;H01Q19/06;H01Q21/06;(IPC1-7):H01L31/08;H01C7/00;G02B26/10 主分类号 G01J5/20
代理机构 代理人
主权项
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