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经营范围
发明名称
PLASMA REINFORCED SPUTTERING DEVICE
摘要
申请公布号
JPH07238371(A)
申请公布日期
1995.09.12
申请号
JP19940029397
申请日期
1994.02.28
申请人
CANON INC
发明人
SUZUKI NOBUMASA
分类号
C23C14/34;C23C14/35;(IPC1-7):C23C14/35
主分类号
C23C14/34
代理机构
代理人
主权项
地址
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