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发明名称 SEMICONDUCTOR CHIP TESTER
摘要
申请公布号 JPH07240449(A) 申请公布日期 1995.09.12
申请号 JP19940053175 申请日期 1994.02.25
申请人 AGING TESUTA KAIHATSU KYODO KUMIAI 发明人 IKEDA AKIO
分类号 G01R31/26;H01L21/326;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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