发明名称 |
DETECTION OF INTERNAL DEFECT OF CRYSTAL |
摘要 |
|
申请公布号 |
JPH07239307(A) |
申请公布日期 |
1995.09.12 |
申请号 |
JP19940054492 |
申请日期 |
1994.02.28 |
申请人 |
MITSUBISHI MATERIALS CORP;MITSUBISHI MATERIALS SHILICON CORP |
发明人 |
FURUKAWA JUN;FURUYA HISASHI;SHINGYOUCHI TAKAYUKI |
分类号 |
G01N21/88;G01N21/17;G01N21/47;G01N21/956;H01L21/66;(IPC1-7):G01N21/88 |
主分类号 |
G01N21/88 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|