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发明名称 VACUUM EXHAUST SYSTEM DIRECTLY COUPLED TYPE VACUUM TREATMENT EQUIPMENT
摘要
申请公布号 JPH07240382(A) 申请公布日期 1995.09.12
申请号 JP19940053169 申请日期 1994.02.25
申请人 TOKYO ELECTRON LTD 发明人 KOMINO MITSUAKI
分类号 C23C16/44;C23C16/455;C23C16/54;H01L21/205;(IPC1-7):H01L21/205 主分类号 C23C16/44
代理机构 代理人
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