发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE GATE AND SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH07240528(A) 申请公布日期 1995.09.12
申请号 JP19940029614 申请日期 1994.02.28
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 HOSOI SHIGEHIRO;SUGA TORU
分类号 H01L21/338;H01L29/778;H01L29/80;H01L29/812;(IPC1-7):H01L29/80 主分类号 H01L21/338
代理机构 代理人
主权项
地址