发明名称 THIN FILM FORMING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH07238381(A) 申请公布日期 1995.09.12
申请号 JP19940030619 申请日期 1994.02.28
申请人 KAO CORP 发明人 KITAORI NORIYUKI;YOSHIDA OSAMU;MIZUNOYA HIROHIDE;WAKABAYASHI SHIGEMI;SHIGA AKIRA
分类号 C23C16/50;C23C16/27;C23C16/511;C23C16/54;G11B5/84;(IPC1-7):C23C16/54 主分类号 C23C16/50
代理机构 代理人
主权项
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