发明名称 VACUUM DEPOSITION APPARATUS
摘要
申请公布号 RU1468009(C) 申请公布日期 1995.09.10
申请号 SU19874281727 申请日期 1987.07.10
申请人 DANILOV M.A. 发明人 DANILOV M.A.
分类号 C23C14/24;(IPC1-7):C23C14/24 主分类号 C23C14/24
代理机构 代理人
主权项
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