Elektronenoptische Messeinrichtung.,申请号DE19916011681-传众专利搜索

发明名称	Elektronenoptische Messeinrichtung.
摘要
申请公布号	DE69111681(D1)	申请公布日期	1995.09.07
申请号	DE19916011681	申请日期	1991.05.08
申请人	HITACHI, LTD., TOKIO/TOKYO, JP	发明人	OSAKABE, NOBUYUKI, KAWAGOE-SHI, JP;ENDO, JUNJI, SAKADO-SHI, JP;TONOMURA, AKIRA, HIKI-GUN, SAITAMA-KEN, JP;TOMITA, MASAHIRO, KATSUTA-SHI, JP;FURUTSU, TADAO, HITACHI-SHI, JP
分类号	H01J37/141;H01J37/147;H01J37/20;H01J37/26;(IPC1-7):H01J37/26	主分类号	H01J37/141
代理机构		代理人
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