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发明名称
Auf einem Substrat integriertes Prüfsystem und Verfahren zur Nutzung dieses Prüfsystems.
摘要
申请公布号
DE69016947(T2)
申请公布日期
1995.09.07
申请号
DE19906016947T
申请日期
1990.11.26
申请人
PHILIPS ELECTRONICS N.V., EINDHOVEN, NL
发明人
JOOSTEN, JOHANNES JOZEF MARIA, NL-5656 AA EINDHOVEN, NL;VAN DER KLAUW, CORNELIS LEONARDUS MARIA, NL-5656 AA EINDHOVEN, NL
分类号
G01R31/28;G01R31/3185;H01L21/66;(IPC1-7):G06F11/26
主分类号
G01R31/28
代理机构
代理人
主权项
地址
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