发明名称 Belichtungsvorrichtung.
摘要
申请公布号 DE69018556(T2) 申请公布日期 1995.09.07
申请号 DE19906018556T 申请日期 1990.09.19
申请人 CANON K.K., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 NOSE, NORIYUKI, 3-30-2 SHIMOMARUKO, OHTA-KU, TOKYO, JP;EBINUMA, RYUICHI, 3-30-2 SHIMOMARUKO, OHTA-KU, TOKYO, JP;OZAWA, KUNITAKA, 3-30-2 SHIMOMARUKO, OHTA-KU, TOKYO, JP;KARIYA, TAKAO, 3-30-2 SHIMOMARUKO, OHTA-KU, TOKYO, JP;UZAWA, SHUNICHI, 3-30-2 SHIMOMARUKO, OHTA-KU, TOKYO, JP
分类号 G03F9/00;G03F7/20;H01L21/027;H01L21/30;(IPC1-7):G03F7/20 主分类号 G03F9/00
代理机构 代理人
主权项
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