| 发明名称 |
Haltevorrichtung für in einer Vakuumbeschichtungsanlage zu behandelnde Substrate |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE29510613(U1) |
申请公布日期 |
1995.09.07 |
| 申请号 |
DE19952010613U |
申请日期 |
1995.06.30 |
| 申请人 |
LEYBOLD AG, 63450 HANAU, DE |
发明人 |
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| 分类号 |
C23C14/50;(IPC1-7):C23C14/50 |
主分类号 |
C23C14/50 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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