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发明名称 Mechanismus zum Detektieren des Rotationswinkels eines Spiegels.
摘要
申请公布号 DE69111648(D1) 申请公布日期 1995.09.07
申请号 DE19916011648 申请日期 1991.03.19
申请人 NIKON CORP., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 KANEKO, HISAHARU, YOKOHAMA-SHI, KANAGAWA-KEN, JP;ISHII, YUWA, KAWASAKI-SHI, KANAGAWA-KEN, JP
分类号 G11B7/09;G01D5/30;(IPC1-7):G01D5/30 主分类号 G11B7/09
代理机构 代理人
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