| 发明名称 |
Interferometer. |
| 摘要 |
<p>In Figur 1 ist ein Michelson-Interferometer (1) gezeigt, bei dem zur Gewinnung der zur Signalauswertung erforderlichen Teilstrahlenbündel anstelle von polarisations- und anderen optischen Elementen lediglich ein Phasengitter (9) mit ausgewählten Gitterparametern vorgesehen ist. <IMAGE></p> |
| 申请公布号 |
EP0670467(A1) |
申请公布日期 |
1995.09.06 |
| 申请号 |
EP19940102938 |
申请日期 |
1994.02.26 |
| 申请人 |
DR. JOHANNES HEIDENHAIN GMBH |
发明人 |
FRANZ, ANDREAS, DR.;SPANNER, ERWIN |
| 分类号 |
G01B9/02;G01J9/02;(IPC1-7):G01B9/02 |
主分类号 |
G01B9/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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