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发明名称
摘要
申请公布号
JPH0783030(B2)
申请公布日期
1995.09.06
申请号
JP19870270836
申请日期
1987.10.26
申请人
发明人
分类号
H01L29/812;H01L21/306;H01L21/338;H01L29/80;(IPC1-7):H01L21/338
主分类号
H01L29/812
代理机构
代理人
主权项
地址
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