发明名称 Method of forming a field oxide film in a semiconductor device
摘要
申请公布号 GB9513225(D0) 申请公布日期 1995.09.06
申请号 GB19950013225 申请日期 1995.06.29
申请人 HYUNDAI ELECTRONICS INDUSTRIES CO. LTD. 发明人
分类号 H01L21/32 主分类号 H01L21/32
代理机构 代理人
主权项
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