| 发明名称 |
METHOD FOR OPERATING EXHAUST SYSTEM IN FILM FORMATION SYSTEM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH07235495(A) |
申请公布日期 |
1995.09.05 |
| 申请号 |
JP19940049853 |
申请日期 |
1994.02.22 |
| 申请人 |
TOSHIBA CORP;EBARA CORP |
发明人 |
OKUMURA KATSUYA;MORI SHIGEYA;TSUJIMURA MANABU |
| 分类号 |
H01L21/205;C23C16/44;(IPC1-7):H01L21/205 |
主分类号 |
H01L21/205 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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