| 发明名称 |
SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH07235541(A) |
申请公布日期 |
1995.09.05 |
| 申请号 |
JP19940047757 |
申请日期 |
1994.02.22 |
| 申请人 |
TOSHIBA CORP |
发明人 |
TOMITA KENICHI;MASE KOICHI;ISHIGURO AKIRA;YAMAMOTO TOMIE;YAHIRO KAZUYUKI |
| 分类号 |
H01L21/3205;H01L21/768;H01L21/822;H01L23/52;H01L23/522;H01L27/04;(IPC1-7):H01L21/320 |
主分类号 |
H01L21/3205 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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