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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH07235592(A) 申请公布日期 1995.09.05
申请号 JP19940338062 申请日期 1994.12.27
申请人 NIPPON STEEL CORP 发明人 KAWAMURA KOICHIRO
分类号 H01L21/76;H01L21/322;(IPC1-7):H01L21/76 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
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