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发明名称 CRYSTAL GROWTH DEVICE
摘要
申请公布号 JPH07235501(A) 申请公布日期 1995.09.05
申请号 JP19940028010 申请日期 1994.02.25
申请人 STANLEY ELECTRIC CO LTD 发明人 FUNAOKA CHIHIRO;HORIO TADASHI;KAGAWA MITSURU;KINGOU YASUO
分类号 C23C16/44;C23C16/455;C23C16/52;H01L21/205;(IPC1-7):H01L21/205 主分类号 C23C16/44
代理机构 代理人
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