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发明名称 FABRICATION OF SEMICONDUCTOR ELEMENT
摘要
申请公布号 JPH07235479(A) 申请公布日期 1995.09.05
申请号 JP19940027072 申请日期 1994.02.25
申请人 FUJI ELECTRIC CO LTD 发明人 YAMADA KOICHI
分类号 G03F7/085;B05D1/40;G03F7/16;H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027 主分类号 G03F7/085
代理机构 代理人
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