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发明名称 PLASMA PROCESSING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH07235397(A) 申请公布日期 1995.09.05
申请号 JP19940049761 申请日期 1994.02.22
申请人 KINOSHITA HARUHISA;ROOTSUE KK;ADTEC:KK 发明人 KINOSHITA HARUHISA;SAKITANI FUMIO;FUJII SHUITSU
分类号 H05H1/46;C23C14/35;C23C16/50;C23F4/00;H01L21/203;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H05H1/46;H01L21/306 主分类号 H05H1/46
代理机构 代理人
主权项
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