| 发明名称 |
THIN FILM MANUFACTURING EQUIPMENT AND MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH07235500(A) |
申请公布日期 |
1995.09.05 |
| 申请号 |
JP19940027709 |
申请日期 |
1994.02.25 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
MARUIZUMI TAKUYA;USHIO JIRO;TAKEMURA YOSHIAKI;IRIE RYOTARO;YAMAGUCHI KEN;OJI YUZURU |
| 分类号 |
C30B25/16;C23C16/52;H01L21/205;H01L21/285;H01L21/31;(IPC1-7):H01L21/205 |
主分类号 |
C30B25/16 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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