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发明名称 PATTERNING OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH07235536(A) 申请公布日期 1995.09.05
申请号 JP19940047812 申请日期 1994.02.22
申请人 DAINIPPON PRINTING CO LTD 发明人 ASANO MASAAKI
分类号 H01L21/302;H01L21/3205;(IPC1-7):H01L21/320 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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