METHOD OF FORMING POLYCARSTALLINE SILICON FILM AND THE CONNECTION PART THEREOF,申请号JP19940049860-传众专利搜索

发明名称	METHOD OF FORMING POLYCARSTALLINE SILICON FILM AND THE CONNECTION PART THEREOF
摘要
申请公布号	JPH07235503(A)	申请公布日期	1995.09.05
申请号	JP19940049860	申请日期	1994.02.22
申请人	SONY CORP	发明人	KONO KATSUMI
分类号	H01L23/522;H01L21/205;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/205	主分类号	H01L23/522
代理机构		代理人
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