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发明名称 CAP FIXING STRUCTURE OF HEAT-TREATING FURNACE FOR SEMICONDUCTOR MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH07235545(A) 申请公布日期 1995.09.05
申请号 JP19940047936 申请日期 1994.02.23
申请人 SHINKO ELECTRIC CO LTD 发明人 ISONO MASANORI
分类号 H01L21/22;H01L21/31;H01L21/324;(IPC1-7):H01L21/324 主分类号 H01L21/22
代理机构 代理人
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